第三代半导体材料外延设备瓶颈被突破国产M

　　“众所周知，MOCVD的应用领域非常广泛，包括照明、显示、军事、卫星、石墨烯等领域，这也凸显出MOCVD在整个化合物半导体产业里面的重要性。”中晟光电董事长/CEO陈爱华在高工LED年会上表示。

　　2017年12月21日--22日，由高工LED主办的以“硝烟渐消比拼软实力深度整合挖潜新机会”为主题的2017高工LED年会暨金球奖颁奖典礼在深圳宝安登喜路大酒店拉开帷幕。

　　作为一年一度的LED产业链的年终盛会，2017高工LED年会再度汇聚国LED企业领袖，与现场400+行业精英全面展望LED产业格局、市场、资本、技术的趋势与走向，深度整合与挖掘当前产业形势下的新机会与战略，共同求解产业与企业的“决胜”之道。

　　在12月21日下午由晶元光电冠名的“聚焦中国市场的产业机遇与企业战略”开幕式大会上，陈爱华发表了“MOCVD国产化的现状及发展趋势”的主题演讲。

　　MOCVD设备在LED结构里面，可以承接各种层面，包括发光层、反光层、电极层等，MOCVD设备在应用中间起到关键性作用，因为它既决定了芯片产品性能，又决定了其成本。

　　相比LED结构，MOCVD在电子功能器件里面结构相对简单一些，但也需要有三层，比如氧化铝的隔离层、有氮化镓的组层、还有最后的电子生长层。总体而言，MOCVD设备在化合物半导体里面要复杂的多，工艺对设备的依赖性也很强。

　　的确，MOCVD的价格相比原来已经降低了60%，正是由于国产设备的出现，MOCVD呈现出很大的降价空间。

　　如今，在蓝光、白光、绿光市场，经过多年的竞争格局的改变，原来只有德国、美国的两个国外设备厂商垄断，目前由于德国这一家不能满足大规模生产的需求，所以已经出局，仅剩美国一家。如今，国内真正实现量产的也有两家，中晟光电和中微。

　　在陈爱华看来，“国产设备经过两代产品在多家客户的规模生产验证，已经具备了性价比上的竞争力，性能上也跟美国设备厂很接近，有些甚至已经超过了他们，并且价格还比较便宜。”

　　陈爱华博士介绍，中晟光电自成立之初就建立了自己的知识产权体系和核心技术体系，目前在托盘、自动化装卸等关键技术方面已建立了自主创新的知识产权。陈爱华坦言，“正是由于这些知识产权的建立，我们才有了自己产品的差异化竞争力。可以说，中晟的自主知识产权不会对国内外的专利和知识产权产生侵权。”

　　除此之外，中晟光电在创立时就确立了两个原则，一个是制度创新，另一个是技术路线创新。其中，技术路线的确定一定是以市场为导向，而不是技术导向和产品导向。其实，无论是技术导向，还是产品导向，都是以市场导向为主。

　　“自主创新不是一天两天就能实现的，需要至少5年的时间。我们已经做了两代，第一代产品做的确实不是很完善，在第二代产品中经过完善得到了解决。自主创新产品是工艺的导入，这是非常依赖设备的。此外，坚持自主创新，必须有很大的资金投入，承受会亏本的压力，这是绝对的。”陈爱华如是说。

　　目前，中晟光电的两代产品都已通过了验证，在三安光电和华灿光电都已投入生产。2018年，中晟光电会继续进入大规模生产阶段。

　　写在最后

　　其实，市场发展早在2011年就确定了两点，第一MOCVD设备能够满足大规模生产的需求，第二就是成本一定要低，成本降不下来，产业无法发展。

　　经过7年的积累和验证，中晟光电建立了自己的自助创新设备MOCVD的核心技术体系。第三个自主创新一定要用于承受代价，必然会得到收获。最后是第三代半导体材料的外延设备瓶颈正在被突破，国产MOCVD有潜力实现从跟进到超车的转变。