Se技术

SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）与调查公司法国Yole Developpement共同发布了全球MEMS（micro electro mechanical systems）相关市场的调查结果。包括汽车安全气囊系统、MEMS显示器系统和采用MEMS技术的喷墨打印机用喷墨盒等产品，MEMS系统市场2006年的供货金额为400亿美元。SEMI预测，MEMS系统市场的供货金额2010年将达到720亿美元。

以MEMS系统为主的MEMS元件市场06年的供货金额为59亿美元。今后，随着家电领域的需求扩大，该市场将以年均1 ％（CAGR）的速度持续增长，2010年将达到108亿美元。在此次调查中，MEMS元件的定义是First-level Packaging的芯片级部件，包括压力传感器、加速传感器、陀螺仪、硅麦克风及微流体元件等。

在生产MEMS元件中使用的材料与制造设备的市场，06年供货总额已超过10亿美元。预计截至2011年，材料市场将以年均1 ％、制造设备市场将以年均9％的速度持续增长。面板带动了对材料需求的扩大，占有了70％以上的市场。虽然在制造设备市场中老式半导体制造设备占很大比例，但也可以看出面向200mm晶圆生产线、特定MEMS用途的蚀刻以及Bonding等新技术的过渡。

SEMI新兴技术部门的高级主管Lubab Sheet表示，“MEMS是一门用途非常广泛的技术，目前不少面向家电的技术正在向MEMS技术转换。原来的MEMS元件主要广泛用于面向消费者的产品，支持这一大部分需求的是200mm晶圆的生产线。在MEMS元件的生产上还存在着静磨擦（由于周围和表面的阻力使可移动部分黏在一起而不能移动）与封装等问题，这将给制造设备厂商和材料厂商提供新的机会”。贵州男科医院地址

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