新型环保切割方式水刀

　　过去的数年中，激光在许多应用中越来越流行，主要是由于它具备柔性及加工速度。然而，今天激进激光器已经达到极限，面对更精密的应用如晶圆划片时，会产生显著的污染，较低的生产率，以及热量问题。而一种新的方法能够克服这些问题，通过将激光束同水刀结合起来。通过利用水，切割深度得到增加，污染被防止，热影响也不复存在和传统基于激光的技术相比的不同，水刀切割导引激光在目前无法通过激光完成的应用中获得了胜利。

　　水刀引导激光使用脉冲激光，因而在两个激光脉冲之间，水射流对切割边缘进行冷却。因为热量不能在资料中累积，热影响区可忽略不计。水射流也被用于材料取出。这相对于气体辅助的取出方式要更为有效，因为水刀包含更高等级的动能。大多数熔化的资料被水射流清除，只有一小局部碎屑存留下来。为了防止堆积，工件表面会产生一层很薄的水膜。落在薄膜上的颗粒很快冷却并无法粘结在工件的外表。采用维护性水膜的同时不可使用激进干式激光，这主要出于焦距灵敏度和功率损失的原因。

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