中科院长春应化所多功能发光器件制备系统问

　　一种采用多功能一体的模块化设计，既能用于有机小分子和高分子材料电致发光器件的制备研究，又能进行稀土配合物的研究，并能实现高水平检测和封装的新型仪器“四室联用、高真空、多功能发光器件制备系统”近日在中国科学院长春应用化学研究所问世，并通过了国家自然科学基金委员会组织的专家验收。 有机电致发光器件(OLED)以其发光亮度高、驱动电压低、易于实现大屏幕显示，并能在柔性衬底上制备等突出优点，成为当今国际上的一个研究热点。为进一步推进这一具有国际先进水平器件的研发，长春应化所在国家自然科学基金委员会的支持下，于2002年1月开始了“四室联用、高真空、多功能发光器件制备系统”这一专项基金项目的研发。经过二年多的艰苦努力，他们先后攻克了多室、多模块单元的组装；发射材料蒸镀和电极蒸镀室联用；发射材料蒸镀、电极蒸镀室和旋涂干燥箱三室联用；发射材料蒸镀、电极蒸镀室、旋涂干燥箱和器件封装室四室联用等一系列关键技术，并通过精心设计和组装，研发出具有我国自主知识产权的“四室联用、高真空、多功能发光器件制备系统”的整机。经测试该仪器真空度、气氛、蒸发源加热功率的可控、有机膜和金属电极膜的速度与厚度的可控等各项指标均达到了项目计划要求。利用该仪器制备的标准器件，其性能均达到或优于国外同类仪器制备的器件性能。 专家验收委员会认为，该仪器采用多室、多功能和多检测的立体设计，由有机薄膜室、电极薄膜室、真空一手套操作箱、高分子旋转手套和长距离型样品直线传输装置、样品交接机械手、阀门及真空系统等单元组成，可在原位真空条件下实现基片从发光多层膜沉积至器件封装集成一体化，具有明显的创新性和较高的实用价值。（来源：中国机电企业）